“理论上说是可行,但是实际遇到的问题很多,除了我刚才说的,还有折射指数大于165的流体满足粘度、吸收和流体循环要求……”张文华也不管顾北听的懂听不懂,又开始解释起来。
“好了,不说这个……”顾北打断他的话,“明天我就找你刘所长,研发方向放到液体做介质浸润式微影技术!”
顾北的语气不容置疑。
虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语,但是他记得很清楚,网上就说as等公司所谓干式微影技术,成了光刻机的龙头。
这实际上是一种研发路线选择,一旦错了,满盘皆输!尼康ib就是活生生的例子!
“理论上说是可行,但是实际遇到的问题很多,除了我刚才说的,还有折射指数大于165的流体满足粘度、吸收和流体循环要求……”张文华也不管顾北听的懂听不懂,又开始解释起来。
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顾北的语气不容置疑。
虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语,但是他记得很清楚,网上就说as等公司所谓干式微影技术,成了光刻机的龙头。
这实际上是一种研发路线选择,一旦错了,满盘皆输!尼康ib就是活生生的例子!